瑞典Excillum公司高分辨纳米管微焦斑光源（Nanotube）

Excillum纳米管N3基于先进的电子光学和最新的钨-金刚石透射靶技术，自动电子束聚焦和散光校正，确保每一天、每一次，尽可能获得最小的、正圆形光斑。同时，纳米管N3具有内部测量及即时反馈当前光斑尺寸大小的独特功能。先进的冷却和散热设计保证了焦点在长时间曝光下的稳定性。真正实现了无与伦比的150nm线性和空间分辨率。

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